热式质量流量计也叫量热式流量计，可以对流体质量进行实时的检测，它是一种流体质量流量仪器，利用流体通过外部热源加热管道时产生的温度场变化来测量流体质量流量，或者利用加热流体时流体温度上升所需的能量与流体质量之间的关系来测量流体质量流量。通常用于测量气体的质量流量。

虽然都是热式，但是原理可分为两种：一个是加热流体流经的部分管道，利用流体流经加热管道时温度场的变化进行测量，二是测量原理是加热流体本身，利用能量与流体质量之间的关系进行测量。

热式气体质量流量计中的传感器通常由两个基准级热电阻组成，一个是速度传感器，另一个是测量气体温度变化的温度传感器。当两个热电阻被放置在管道中的被测气体中时，速度传感器被加热，另一个温度传感器被用来测量气体的温度。随着气体流量的增加，带走的热量上升，温度传感器本身的温度下降。温度传感器前后的温度变化值和通过管道的气体质量流量正是线性份额，因此工作原理可以计算气体质量流量。

气体通过的测量段有两个热阻元件，一个是温度检测，另一个是加热器。用于检测气体温度的温度传感元件，加热器通过改变电流来保持其温度与被测气体之间的恒定温差。当气体流量增加时，冷却效果越大，热电阻之间的恒温电流就越大。这种递与气体质量流量相比，即供应电流与气体质量流量之间存在相应的函数关系，以反映气体流量。

热式质量流量计压力损失小，只需与流量传感器配套使用，形成固定流量计，工作过程中损坏或故障少，是实用流量计，可测量低流量或小流量，管道污垢或杂质无关，热质量流量计能准确测量流量，压力损失不大，方便快捷。当使用热质流量计测量气体时，气体的比热容量会随着压力温度的变化而变化，但所使用的温度压力附近的小变化可视为常数。